国产离子注入设备实现28纳米工艺全覆盖 从中国电子科技集团获悉,该集团旗下中电科电子装备集团有限公司已实现离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖,有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。(文章来源:财联社)本站声明:网站内容来源于网络,... 补单平台推荐 /快讯 /2023-06-30 /0 评论 /119 阅读