国产离子注入设备实现28纳米工艺全覆盖

　　从中国电子科技集团获悉，该集团旗下中电科电子装备集团有限公司已实现离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。

（文章来源：财联社）

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